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氦质谱检漏仪是一种利用氦作为气体泄漏的质谱仪，用于用气体分析仪检测氦气。它是国内外真空容器检漏的技术。与一般的检漏技术相比，氦质谱检漏技术更快.准确.灵敏度高，无损伤。
氦质谱检漏仪表的示踪气体也可以是其他元素。但由于青岛高纯氦气具有以下特点，所以通常选择氦气：
1.空气中的氦气含量很小，只占20万分之一，容易发现；
2.氦分子小.质量轻.易扩散.比其他气体更容易穿越漏洞；
3.氦离子荷质比小，便于质谱分析；
4.氦是无毒的.无味，对大气无污染。
5.氦是惰性气体，化学性质稳定，不会腐蚀和损坏设备；
6.氦气无毒，不凝结，难容纳水。
由于氦气具有上述特性，氦气泄漏检测的应用已从科研机构应用到工业企业甚至个体企业。可以说，应用领域非常广泛
