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含微量产物砷化三氢、磷化氢或乙硼烷等的气体，例如：氢气、氦气、氩气或氮气等气体，用来制造硅半导体。高度净化的氨的混合物用来作渗氮用。硅烷，无论是纯的还是在混合物中都可用于硅的沉积。和上述混合气之一相似的混合气体，若砷化三氢和磷化氢的含量高，通常用来制造稼半导体。
用于焊接：氧和氩的混合物，二氧化碳和氦-氮气都可以供焊接使用。 用于冷却。冷冻剂例如氯代甲烷和碳氟化合物的混合气都可用于冷却用。 用于烟熏，溴代甲烷和乙烯氧化物都可用于烟熏。
用于化学检验。美国材料试验学会将气体混合物用作保护气氛。 用于冶金，氢-氮气可用于热处理 用于泄漏探测。低百分含量的碳氟化合物，例如碳氢化合物-12或氦与空气或氮气的混合物，都可用于探测泄漏。
用于触媒添加剂，氮氧化合物和三氟化硼与氮气的混合物都可用来作触媒添加剂。 用于照明。包括氦、氮或氩在内的稀有气体混合物可用来供灯具、标志、电子管和其他装置使用。 放射性其他混合物的使用：氪-85， 氘和碳-14通常可以微量加入到各种气体中。
用作火花室气体。通常70-95%的氖与氦混合供火花室。
用于污染控制。少量的一氧化氮、二氧化氮、二氧化硫、一氧化碳、氯乙烯、各种碳氢化合物和其他物质，可以加入到空气其他气体中，供发射测量装置的分析仪表校准时使用 用于激光。稀有气体与氮的混合物和二氧化碳与氦的混合物都可以用于激光。
用于X射线荧光谱。含有微量丁烷的氦和氖的混合物可用于X射线荧光光谱。
用于电子俘获。氩与5%甲烷的混合物可用于电子俘获。 用作特殊控制气体。这些气体包括8.5%氢和氦的混合物。
