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高纯氦气系统由专用气体设备、气体侦测传感系统、自控及软件系统、气体管阀件等组成，系统的前端连接高纯氦气供气装置 ，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。高纯氦气系统能将制程所需的高纯氦气从供气端安全稳定的传输至使用终端设备，同时保证高纯氦气不会因吸附气体和水分、脱放气、产生颗粒等原因受到污染，保证气体纯度，使气体满足生产工艺的纯度要求。
高纯氦气本身对人体没有特殊毒作用，只是在浓度高时有麻醉效应。当空气中含量大时，也能造成缺氧、窒息，引起中毒症状。当高纯氦气浓度大于10%时产生眼睛和前额的受压感，浓度更高时，开始出现呼吸急促、疲劳、恶心、呕吐等窒息症状，并能导致失去知觉。
泄漏气体时，要用强制通风的方法使其浓度在爆炸范围以下。漏气的钢瓶如果无法堵漏，则要转移到空旷地方放宅，或者装适当的灯头燃烧。瓶装气体产品为高压充装气体，使用时应经减压降压后方可使用。包装的气瓶上均有使用的年限，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。
每瓶气体在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.5MPa，不得低于0.25MPa余压，应将瓶阀关闭，以保证气体质量和使用安全。瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。
